成都滲源科技為天津天芯微打造集成電路專(zhuān)用純水系統(tǒng)

 

在集成電路研發(fā)領(lǐng)域，純水的純度直接關(guān)系到芯片光刻、蝕刻等核心工藝的精度。天津天芯微系統(tǒng)集成研究院有限公司專(zhuān)注于高端芯片研發(fā)，對(duì)實(shí)驗(yàn)及生產(chǎn)用水提出了嚴(yán)苛要求。成都滲源科技有限公司憑借專(zhuān)業(yè)技術(shù)，為其定制安裝純水系統(tǒng)，助力集成電路技術(shù)突破。

 

 

集成電路工藝中，水中的金屬離子、微粒、有機(jī)物等雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致芯片短路或性能衰減，需純水達(dá)到電阻率18.2MΩ?cm。滲源科技團(tuán)隊(duì)深入了解天芯微，針對(duì)其晶圓清洗、光刻膠配制等場(chǎng)景，結(jié)合原水水質(zhì)數(shù)據(jù)，設(shè)計(jì)了多級(jí)純化方案。

該系統(tǒng)采用預(yù)處理+RO反滲透+EDI深度除鹽的復(fù)合工藝：預(yù)處理單元去除懸浮物與余氯，保護(hù)核心膜元件；進(jìn)口RO膜實(shí)現(xiàn) 99.9% 脫鹽率，降低離子濃度；EDI模塊進(jìn)一步提升純度，配合終端超濾裝置，確保產(chǎn)水完全滿(mǎn)足集成電路研發(fā)對(duì)痕量雜質(zhì)控制的要求。系統(tǒng)配備智能監(jiān)控模塊，實(shí)時(shí)顯示水質(zhì)參數(shù)，支持遠(yuǎn)程運(yùn)維，契合芯片研發(fā)的連續(xù)化需求。

安裝階段，滲源團(tuán)隊(duì)嚴(yán)格遵循潔凈室施工標(biāo)準(zhǔn)，采用無(wú)縫連接技術(shù)，避免二次污染。調(diào)試完成后，為技術(shù)人員提供操作培訓(xùn)，并建立48小時(shí)快速響應(yīng)售后機(jī)制。

此次合作彰顯了滲源科技在集成電路用水領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)積淀，為高端芯片研發(fā)注入純凈動(dòng)力。