成都滲源科技助力晟光硅研半導(dǎo)體SYR-100L純水系統(tǒng)成功投運(yùn)

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司完成SYR-100L實(shí)驗(yàn)室純水系統(tǒng)的安裝調(diào)試，為這家專(zhuān)業(yè)半導(dǎo)體材料企業(yè)提供了符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的純水解決方案。

晟光硅研在半導(dǎo)體晶圓制備、材料檢測(cè)等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對(duì)純水質(zhì)量要求極為嚴(yán)苛。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)金屬離子、TOC和顆粒物的特殊控制要求，滲源科技專(zhuān)業(yè)設(shè)計(jì)的SYR-100L系統(tǒng)采用"預(yù)處理+雙級(jí)反滲透"純化工藝，產(chǎn)水電導(dǎo)率穩(wěn)定達(dá)到1-5μs/cm，完全滿足半導(dǎo)體材料清洗、蝕刻等工藝的用水需求。

該純水系統(tǒng)具備三大核心優(yōu)勢(shì)：

1. 100L大容量?jī)?chǔ)水設(shè)計(jì)，滿足連續(xù)生產(chǎn)用水需求；
2. 采用四級(jí)預(yù)處理裝置，有效去除粒物質(zhì)、鐵、錳、余氯、鈣、鎂及吸附有機(jī)物、異味等;
3. 雙級(jí)反滲透工藝，適應(yīng)各種復(fù)雜的源水狀況，有效穩(wěn)定產(chǎn)水品質(zhì);

滲源科技工程師團(tuán)隊(duì)根據(jù)半導(dǎo)體車(chē)間環(huán)境特點(diǎn)，優(yōu)化了設(shè)備布局和管路走向，并對(duì)操作人員進(jìn)行了專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)。此次合作不僅解決了晟光硅研的生產(chǎn)用水需求，也為后續(xù)深度合作奠定了基礎(chǔ)。成都滲源科技將持續(xù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供更專(zhuān)業(yè)的純水解決方案，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。